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文章詳情
如何選擇INFICON真空計(jì)
日期：2026-03-17 05:36
瀏覽次數(shù)：1445
摘要：如何選擇INFICON真空計(jì)
一，皮拉尼真空計(jì)PSG500
1.皮拉尼真空計(jì)原理
加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化
熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系
2.衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)
1，穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）
2，穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)）
3.氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān):
...
如何選擇INFICON真空計(jì)
一，皮拉尼真空計(jì)PSG500
1.皮拉尼真空計(jì)原理
加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化
熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系
2.衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)
1，穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）
2，穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)）
3.氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān):
1，氣體類型
2，壓力大小
4.皮拉尼真空計(jì)測量范圍與精度
測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓?x10-4至1000mbar
精度（氮?dú)猓?1x10-3…100毫巴±15%
5x10-4…1x10-3毫巴±50%
100...1000毫巴±50%
5.皮拉尼真空計(jì)的優(yōu)特點(diǎn)
燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以*大的保護(hù)，大大延長了燈絲的使用壽命
6.皮拉尼真空計(jì)具體型號(hào)
PSG050/051
PSG100-SPSG101-S
PSG500/500-SPSG502
皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計(jì)PCG400PCG410PCG550
1.有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起
2.兩種原理的規(guī)管全過程都工作
3.100mbar—1000mbar使用薄膜規(guī)信號(hào)
4.1mbar–100mbar兩規(guī)信號(hào)同時(shí)采用
5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號(hào)
6.輸出的真空度信號(hào)（電壓）連續(xù)，無跳躍
7.皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用行業(yè)
各種高真空泵的前級(jí)壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè)
各種中低真空測量，如照明，冶金
真空連鎖控制，高真空計(jì)的點(diǎn)火開關(guān)控制，如PEG100
PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216
PCG400,PCG410（現(xiàn)在已升級(jí)為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500基本相同，但彌補(bǔ)了皮拉尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍(lán)寶石爐上廣泛應(yīng)用
PSG100PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但因?yàn)榫哂型ㄓ崊f(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛
二，電容薄膜規(guī)CDG025D/CDG045D/100D/160D/200D
1.電容薄膜規(guī)工作原理
壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系
通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度
2.電容薄膜規(guī)特點(diǎn)
以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成
在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測量
快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率
**的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性
由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性
對(duì)環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定
快速預(yù)熱在開機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入準(zhǔn)備使用狀態(tài)
一鍵按鈕:調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整
抗腐蝕超純陶瓷傳感器
能經(jīng)受數(shù)百萬次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡象
暴露大氣壓后快速恢復(fù),無需隔離閥
對(duì)蒸氣介質(zhì)不敏感
先進(jìn)的傳感器屏蔽（**）延長真空計(jì)在污染的工藝過程中的使用壽命
3.INFICON陶瓷技術(shù)
陶瓷技術(shù)的優(yōu)越性
1，無“記憶”效應(yīng)
2，陶瓷無疲勞問題
3，*好的溫度補(bǔ)償
4，**的零點(diǎn)穩(wěn)定性
低使用成本
1.非凡的使用壽命
2.無需隔離閥
4.SkyCDG025D測量范圍
5.加熱型薄膜規(guī)
6.加熱型優(yōu)點(diǎn)
零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）
更高的精度
環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對(duì)精度無影響
比工藝更快的預(yù)熱啟動(dòng)時(shí)間’
快速恢復(fù)時(shí)間大氣壓<1minwithin5mV
任意安裝角度
抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響
7.電容薄膜規(guī)的應(yīng)用
要求高的應(yīng)用條件下，**而快速的壓強(qiáng)測量
用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設(shè)備標(biāo)配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計(jì)用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4 和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，國內(nèi)用的好多PECVD設(shè)備上用的是INFICON的CDG025D。
資料貯存和顯示器制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
常用高精度真空測量
三，熱電離規(guī)
1.熱電離規(guī)原理
Richardson效應(yīng):高溫?zé)艚z發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子
1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系
2.兩種類型熱電離規(guī)
3.熱電離型復(fù)合規(guī)
HPG400
BPG400/-SP/-SD/SR
BPG402
BCG450B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號(hào)復(fù)合在一起
4.優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用
BPG400
測量范圍寬，一個(gè)規(guī)管覆蓋13個(gè)量程5x10-10–1000mbar
精度高，極好的重復(fù)性5%
燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護(hù)，使燈絲并不會(huì)因突然暴露大氣而燒毀。
方便的校準(zhǔn)調(diào)節(jié)
注意事項(xiàng)：
對(duì)氣體有選擇性
抗污染能力弱
普遍應(yīng)用于從低到超高真空的測量
在工業(yè)，半導(dǎo)體，研究行業(yè)應(yīng)用廣泛
BPG402
雙燈絲，大大延長使用壽命
電離規(guī)的工作可以自定義控制
探頭備件自帶校準(zhǔn)參數(shù)，保證精度與重復(fù)性
HPG400
電離規(guī)與皮拉尼的復(fù)合
皮拉尼自鎖保護(hù)電離規(guī)
電離規(guī)的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內(nèi)自定義
簡易的校準(zhǔn)功能
相對(duì)便宜的價(jià)格
BCG450
可調(diào)的電離規(guī)工作起點(diǎn)
**的重復(fù)性
**的大氣端測量
四，冷電離規(guī)（潘寧規(guī)） PEG100/050
1.冷電離規(guī)原理
通過氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離
2.潘寧規(guī)特點(diǎn)與應(yīng)用
測量范圍：5x10-9to1x10-2mbar
全金屬密封
無燈絲
易清洗
應(yīng)用于普通的高真空測量
3.冷規(guī)復(fù)合規(guī)MPG400特點(diǎn)與應(yīng)用
冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復(fù)合
測量范圍廣：5x10-9-1000mbar
易于保養(yǎng)清洗
無高真空燈絲，
應(yīng)用于普通高真空測量
一，皮拉尼真空計(jì)PSG500
1.皮拉尼真空計(jì)原理
加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度
由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化
熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系
2.衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)
1，穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）
2，穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)）
3.氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān):
1，氣體類型
2，壓力大小
4.皮拉尼真空計(jì)測量范圍與精度
測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓?x10-4至1000mbar
精度（氮?dú)猓?1x10-3…100毫巴±15%
5x10-4…1x10-3毫巴±50%
100...1000毫巴±50%
5.皮拉尼真空計(jì)的優(yōu)特點(diǎn)
燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以*大的保護(hù)，大大延長了燈絲的使用壽命
6.皮拉尼真空計(jì)具體型號(hào)
PSG050/051
PSG100-SPSG101-S
PSG500/500-SPSG502
皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計(jì)PCG400PCG410PCG550
1.有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起
2.兩種原理的規(guī)管全過程都工作
3.100mbar—1000mbar使用薄膜規(guī)信號(hào)
4.1mbar–100mbar兩規(guī)信號(hào)同時(shí)采用
5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號(hào)
6.輸出的真空度信號(hào)（電壓）連續(xù)，無跳躍
7.皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用行業(yè)
各種高真空泵的前級(jí)壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè)
各種中低真空測量，如照明，冶金
真空連鎖控制，高真空計(jì)的點(diǎn)火開關(guān)控制，如PEG100
PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216
PCG400,PCG410（現(xiàn)在已升級(jí)為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500基本相同，但彌補(bǔ)了皮拉尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍(lán)寶石爐上廣泛應(yīng)用
PSG100PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但因?yàn)榫哂型ㄓ崊f(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛
二，電容薄膜規(guī)CDG025D/CDG045D/100D/160D/200D
1.電容薄膜規(guī)工作原理
壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系
通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度
2.電容薄膜規(guī)特點(diǎn)
以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成
在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測量
快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率
**的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性
由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性
對(duì)環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定
快速預(yù)熱在開機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入準(zhǔn)備使用狀態(tài)
一鍵按鈕:調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整
抗腐蝕超純陶瓷傳感器
能經(jīng)受數(shù)百萬次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡象
暴露大氣壓后快速恢復(fù),無需隔離閥
對(duì)蒸氣介質(zhì)不敏感
先進(jìn)的傳感器屏蔽（**）延長真空計(jì)在污染的工藝過程中的使用壽命
3.INFICON陶瓷技術(shù)
陶瓷技術(shù)的優(yōu)越性
1，無“記憶”效應(yīng)
2，陶瓷無疲勞問題
3，*好的溫度補(bǔ)償
4，**的零點(diǎn)穩(wěn)定性
低使用成本
1.非凡的使用壽命
2.無需隔離閥
4.SkyCDG025D測量范圍
5.加熱型薄膜規(guī)
6.加熱型優(yōu)點(diǎn)
零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）
更高的精度
環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對(duì)精度無影響
比工藝更快的預(yù)熱啟動(dòng)時(shí)間’
快速恢復(fù)時(shí)間大氣壓<1minwithin5mV
任意安裝角度
抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響
7.電容薄膜規(guī)的應(yīng)用
要求高的應(yīng)用條件下，**而快速的壓強(qiáng)測量
用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設(shè)備標(biāo)配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計(jì)用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4 和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，國內(nèi)用的好多PECVD設(shè)備上用的是INFICON的CDG025D。
資料貯存和顯示器制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
常用高精度真空測量
三，熱電離規(guī)
1.熱電離規(guī)原理
Richardson效應(yīng):高溫?zé)艚z發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子
1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系
2.兩種類型熱電離規(guī)
3.熱電離型復(fù)合規(guī)
HPG400
BPG400/-SP/-SD/SR
BPG402
BCG450B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號(hào)復(fù)合在一起
4.優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用
BPG400
測量范圍寬，一個(gè)規(guī)管覆蓋13個(gè)量程5x10-10–1000mbar
精度高，極好的重復(fù)性5%
燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護(hù)，使燈絲并不會(huì)因突然暴露大氣而燒毀。
方便的校準(zhǔn)調(diào)節(jié)
注意事項(xiàng)：
對(duì)氣體有選擇性
抗污染能力弱
普遍應(yīng)用于從低到超高真空的測量
在工業(yè)，半導(dǎo)體，研究行業(yè)應(yīng)用廣泛
BPG402
雙燈絲，大大延長使用壽命
電離規(guī)的工作可以自定義控制
探頭備件自帶校準(zhǔn)參數(shù)，保證精度與重復(fù)性
HPG400
電離規(guī)與皮拉尼的復(fù)合
皮拉尼自鎖保護(hù)電離規(guī)
電離規(guī)的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內(nèi)自定義
簡易的校準(zhǔn)功能
相對(duì)便宜的價(jià)格
BCG450
可調(diào)的電離規(guī)工作起點(diǎn)
**的重復(fù)性
**的大氣端測量
四，冷電離規(guī)（潘寧規(guī)） PEG100/050
1.冷電離規(guī)原理
通過氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離
2.潘寧規(guī)特點(diǎn)與應(yīng)用
測量范圍：5x10-9to1x10-2mbar
全金屬密封
無燈絲
易清洗
應(yīng)用于普通的高真空測量
3.冷規(guī)復(fù)合規(guī)MPG400特點(diǎn)與應(yīng)用
冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復(fù)合
測量范圍廣：5x10-9-1000mbar
易于保養(yǎng)清洗
無高真空燈絲，
應(yīng)用于普通高真空測量
